半導(dǎo)體材料位于產(chǎn)業(yè)鏈上游,對(duì)產(chǎn)業(yè)發(fā)展起到支撐作用。半導(dǎo)體材料,指集成電路生產(chǎn)制造過(guò)程中使用的各類(lèi)特殊材料的總稱(chēng)。從生產(chǎn)流程角度看,半導(dǎo)體制造生產(chǎn)過(guò)程分為設(shè)計(jì)、制造和封測(cè)三大流程,上游的設(shè)備、材料構(gòu)成半導(dǎo)體制造工藝的核心基礎(chǔ)。作為產(chǎn)業(yè)鏈的上游環(huán)節(jié),半導(dǎo)體材料具有產(chǎn)業(yè)規(guī)模大、細(xì)分行業(yè)多、技術(shù)門(mén)檻高等特點(diǎn),對(duì)產(chǎn)業(yè)發(fā)展起到重要支撐作用。
半導(dǎo)體材料:細(xì)分種類(lèi)眾多,按大類(lèi)可分為晶圓制造材料和封裝材料。半導(dǎo)體材料行業(yè)是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中細(xì)分領(lǐng)域最多的產(chǎn)業(yè)鏈環(huán)節(jié),子品類(lèi)多達(dá)上百種。按大類(lèi)劃分,半導(dǎo)體材料可分為晶圓制造材料和封裝材料。其中,晶圓制造材料通常指的是在半導(dǎo)體芯片的生產(chǎn)過(guò)程中使用的材料,包括半導(dǎo)體硅片、光掩模、光刻膠、靶材、CMP拋光材料(拋光液和拋光墊)等,封裝材料則是在芯片制造完成后,用于保護(hù)和連接芯片的材料,包括引線框架、封裝基板、陶瓷材料、鍵合絲、切割材料、芯片粘貼材料等。
一、半導(dǎo)體硅片:半導(dǎo)體生產(chǎn)的基石,產(chǎn)品向大尺寸方向發(fā)展
硅基半導(dǎo)體材料是目前產(chǎn)量最大、應(yīng)用最廣的半導(dǎo)體材料,是半導(dǎo)體生產(chǎn)的基石。常見(jiàn)的半導(dǎo)體材料包括硅(Si)、鍺(Ge)等元素半導(dǎo)體,以及砷化鎵(GaAs)、氮化鎵(GaN)等化合物半導(dǎo)體。相較于鍺(Ge),硅材料的熔點(diǎn)更高(鍺的熔點(diǎn)937℃,硅的熔點(diǎn)為1,415℃),可以廣泛應(yīng)用于高溫加工工藝中,而硅的禁帶寬度也大于鍺,因此更適合制作高壓器件;相較于砷化鎵,硅安全無(wú)毒、對(duì)環(huán)境無(wú)害,制造與使用過(guò)程中更加安全;此外,鍺、砷化鎵均沒(méi)有天然的氧化物,在晶圓制造時(shí)還需要在表面沉積多層絕緣體,這會(huì)導(dǎo)致下游晶圓制造的生產(chǎn)步驟增加從而使生產(chǎn)成本提高;而硅在地殼中占比約27%,是除了氧元素之外第二豐富的元素,硅元素以二氧化硅和硅酸鹽的形式大量存在于沙子、巖石、礦物中,儲(chǔ)量豐富并且易于取得。綜合以上原因,硅目前產(chǎn)量最大、應(yīng)用最廣的半導(dǎo)體材料,90%以上的半導(dǎo)體產(chǎn)品是用硅基材料制作的。
半導(dǎo)體硅片對(duì)純度要求極高。一般來(lái)說(shuō),將95%~99%純度的硅稱(chēng)為工業(yè)硅,而光伏硅片要求較低,一般為99.9999%到99.999999%之間(小數(shù)點(diǎn)后4—6個(gè)9)。沙子、礦石中的二氧化硅經(jīng)過(guò)純化,可制成純度98%以上的硅;高純度硅經(jīng)過(guò)進(jìn)一步提純,變?yōu)榧兌冗_(dá)99.9999999%至99.999999999%(9—11 個(gè)9)的超純多晶硅,才可用于半導(dǎo)體晶圓的生產(chǎn)與制造過(guò)程中。在半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中,即使摻雜極少量的雜質(zhì),也可能對(duì)芯片的性能與壽命造成較大影響,因此半導(dǎo)體硅片對(duì)硅片純度要求極高,在生產(chǎn)環(huán)節(jié)中,半導(dǎo)體硅片需要盡可能地減少晶體缺陷,保持極高的平整度與表面潔凈度,以保證集成電路或半導(dǎo)體器件的可靠性。 半導(dǎo)體硅片生產(chǎn)流程復(fù)雜,包含多個(gè)環(huán)節(jié)。半導(dǎo)體硅片生產(chǎn)流程復(fù)雜,生產(chǎn)環(huán)節(jié)包含晶體生長(zhǎng)、硅片成型、外延生長(zhǎng)等工藝。制備半導(dǎo)體級(jí)的單晶硅片是芯片制造加工的第一大環(huán)節(jié),包含晶體生長(zhǎng)、整型、切片、磨邊和倒角、蝕刻、拋光、清洗、檢查和包裝等環(huán)節(jié)。從晶體生長(zhǎng)到最終的檢查和包裝,每個(gè)環(huán)節(jié)都至關(guān)重要,直接影響著硅片的質(zhì)量和適用性。在這些步驟中,需要用到多種精密設(shè)備和技術(shù),如單晶爐、切片機(jī)、磨片機(jī)、CMP設(shè)備等,涉及的技術(shù)領(lǐng)域極為廣泛。
當(dāng)前8英寸、12英寸硅片占據(jù)市場(chǎng)主流。按尺寸分類(lèi),半導(dǎo)體硅片可分為6英寸及以下硅片(150mm以下)、8英寸(200mm)和12英寸(300mm)。其中,6英寸硅片主要用于微米至亞微米級(jí)別的半導(dǎo)體制程,線寬在0.35μm至1.2μm之間,應(yīng)用領(lǐng)域包括低端功率半導(dǎo)體器件,如二極管、晶閘管、MOSFET、IGBT,以及一些分立器件與光學(xué)光電子器件的制造;8英寸硅片多用于90nm以上的成熟制程技術(shù),線寬范圍在0.25μm至90nm之間,具體產(chǎn)品包括功率器件(如MOSFET、IGBT)、模擬IC、電源管理芯片、指紋識(shí)別芯片、顯示驅(qū)動(dòng)芯片等;12英寸硅片則主要用于90nm以下制程技術(shù),主要用于高端邏輯芯片(如CPU、GPU)、(如DRAM、)、射頻芯片、自動(dòng)駕駛等領(lǐng)域。由于大尺寸硅片的單位面積更多,生產(chǎn)成本更低,因此目前8英寸和12英寸硅片占據(jù)主流地位,占市場(chǎng)份額的90%以上。
硅片向大尺寸方向發(fā)展是行業(yè)演進(jìn)趨勢(shì)。半導(dǎo)體的生產(chǎn)成本與效率,與硅片尺寸直接相關(guān)。硅片尺寸越大,在單片硅片上制造的芯片數(shù)量就越多,單位芯片的成本隨之降低。同時(shí),在圓形的硅片上制造矩形的芯片會(huì)使硅片邊緣處的一些區(qū)域無(wú)法被利用,必然會(huì)浪費(fèi)部分硅片。硅片的尺寸越大,相對(duì)而言硅片邊緣的損失會(huì)越小,有利于進(jìn)一步降低芯片的成本。例如,在同樣的工藝條件下,300mm半導(dǎo)體硅片的可使用面積超過(guò)200mm硅片的兩倍以上,可使用率(衡量單位晶圓可生產(chǎn)的芯片數(shù)量的指標(biāo))是200mm硅片的2.5倍左右,能夠顯著提高生產(chǎn)效率并節(jié)約成本。隨著電子設(shè)備對(duì)集成電路性能要求提高,疊加晶圓生產(chǎn)技術(shù)不斷突破,使用300mm及以上直徑硅片已成為行業(yè)發(fā)展趨勢(shì)。據(jù)SEMI和前瞻產(chǎn)業(yè)研究院數(shù)據(jù),在摩爾定律影響下,半導(dǎo)體硅片不斷向大尺寸方向發(fā)展,其中8英寸和12英寸合計(jì)出貨面積占比超過(guò)90%,12英寸出貨面積占比超過(guò)60%。
我國(guó)半導(dǎo)體硅片起步較晚,但追趕迅速。我國(guó)半導(dǎo)體硅片起步較晚,但國(guó)內(nèi)主要硅片廠商正大力擴(kuò)建產(chǎn)能,以滿足日益增長(zhǎng)的市場(chǎng)需求。近年來(lái),國(guó)內(nèi)已在大尺寸硅片生產(chǎn)商取得突破,部分已實(shí)現(xiàn)8英寸和12英寸硅片的量產(chǎn)和試產(chǎn)。如滬硅產(chǎn)業(yè)的12英寸半導(dǎo)體硅片產(chǎn)能項(xiàng)目不斷擴(kuò)充,全資子公司上海新昇一期360萬(wàn)片/年的12英寸半導(dǎo)體硅片產(chǎn)線已建成,且正在實(shí)施新增360萬(wàn)片/年產(chǎn)能擴(kuò)建項(xiàng)目,全部建成后總產(chǎn)能將達(dá)720萬(wàn)片/年;據(jù)公司2024年半年報(bào)披露,公司上海項(xiàng)目已經(jīng)完成50萬(wàn)片/月產(chǎn)能,11月調(diào)研表示,會(huì)按原計(jì)劃在今年年底實(shí)現(xiàn)60萬(wàn)片/月的產(chǎn)能建設(shè)目標(biāo),同時(shí),公司在太原建設(shè)的項(xiàng)目也會(huì)逐步有新的產(chǎn)能釋放;根據(jù)立昂微11月的調(diào)研紀(jì)要顯示公司12英寸硅片(拋光+襯底)目前產(chǎn)能利用率接近60%,8英寸硅片接近滿產(chǎn),公司12英寸硅片目前的出貨產(chǎn)品中,拋光片約占三分之二,外延片約占三分之一。2024年前三季度,公司12英寸硅片仍為負(fù)毛利率,預(yù)計(jì)出貨量(正片)達(dá)到產(chǎn)能的三分之二以上將實(shí)現(xiàn)扭虧為盈;各業(yè)務(wù)產(chǎn)能方面,公司6英寸拋光片(含襯底片)產(chǎn)能60萬(wàn)片/月、8英寸拋光片(含襯底片)產(chǎn)能27萬(wàn)片/月(預(yù)計(jì)2024年12月達(dá)到57萬(wàn)片/月,較前期預(yù)測(cè)推后系設(shè)備調(diào)試等正常原因所致)、6-8英寸(兼容)外延片產(chǎn)能70 萬(wàn)片/月(預(yù)計(jì)2025年3月底前達(dá)到90萬(wàn)片/月,較前期預(yù)測(cè)推后系設(shè)備交期延長(zhǎng)等正常原因所致);衢州基地12英寸拋光片(含襯底片)產(chǎn)能15萬(wàn)片/月、12英寸外延片產(chǎn)能10萬(wàn)片/月;嘉興基地12英寸拋光片產(chǎn)能8萬(wàn)片/月,2024年年底有望達(dá)到15萬(wàn)片/月。